Boron11 trihlorīda pusvadītāju palīgvielu pusvadītājs sausa kodināšana
Produkta ievads
Parastā temperatūrā un spiedienā bora trihlorīds (BCL 3 ) ir bezkrāsaina dūmu gāze, kas ir viegli uzliesmojoša, asa, skāba smaka. Bora trihlorīds sadalās sālsskābē un borskābē un izdala daudz siltuma, kas saskaras ar ūdeni, tas rada dūmus mitrā gaisā hidrolīzes dēļ, un BCL 3 sadalās sālsskābē un borskābes esterā spirtā. Bora trihlorīdam ir spēcīga reakcijas spēja un tas var veidot dažādus koordinācijas savienojumus. Bora trihlorīds var reaģēt ar stiklu un keramiku, kad tas tiek uzkarsēts, un tas arī reaģē ar daudziem organiskiem savienojumiem, veidojot dažādus organoborona savienojumus. Augstas tīrības boron11 trihlorīdu galvenokārt izmanto difūzijas dopingam (silīcija) pusvadītāju ierīču ražošanas procesā. Bora piemaisījumi tiek ģenerēti, sadaloties BCL 3 un izkliedējoties uz silīcija, veidojot P veida pusvadītāju augstā temperatūrā. Bcl 3 var izmantot arī AL, MOSI 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI un citu materiālu sausai kodināšanai .
Kvalitātes specifikācija
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Pieteikums
Bora trihlorīdu var izmantot, lai ražotu augstu tīru boru, katalizatoru organiskajai sintēzei, plūsmas līdzeklim silikāta sadalīšanai, kā arī to izmantoja kā dezoksidētāja, nitrīdu un karbīdu piedevu sakausējuma rafinēšanā. Augstu tīru Boron11 trihlorīdu galvenokārt izmanto difūzijas dopingā, jonu implantācijā, sausā kodināšanā un citos procesos pusvadītāju ierīcēs un integrētās shēmas ražošanā.
Iepakojums un glabāšana
Boron11 trihlorīds ir aizpildīts cilindrā. Boron11 trihlorīds, kas piepildīts ar Boron11, atbilst attiecīgajiem GB14193 noteikumiem. Iepakojuma specifikācijās ietilpst 10L un 47L. Produkts tiek glabāts ēnainā, sausā un ventilētā noliktavā zem 60 ℃ . Ir aizliegts pakļauties saulei un turēt prom no siltuma avotiem. Komplektam jābūt aizzīmogotam, un tā jāuzglabā atsevišķi ar sārmiem un citiem bīstamiem izstrādājumiem.
Contact Now
